在短短18個(gè)月內(nèi),您目前構(gòu)建的系統(tǒng)必須生產(chǎn)出比現(xiàn)在制造的芯片復(fù)雜兩倍的芯片,但仍以相同的價(jià)格出售。這只能通過(guò)可靠且經(jīng)濟(jì)的自動(dòng)化解決方案來(lái)實(shí)現(xiàn)。我們深知整個(gè)系統(tǒng)可用性對(duì)半導(dǎo)體和電子元件制造商有多重要。您需要哪些產(chǎn)品和服務(wù)?我們?cè)谌驗(yàn)槟?wù)。
應(yīng)用:控制和調(diào)節(jié)冷卻回路
您面臨的挑戰(zhàn):在半導(dǎo)體制造過(guò)程中可靠地調(diào)節(jié)冷卻液
Festo 的解決方案:
閥島 VTUG 和 VTOC (1)用于可靠地控制介質(zhì)的氣控閥
CPX-MPA 型閥島如果需要額外的 I/O,例如用來(lái)控制電控閥、集成傳感器或創(chuàng)建閉環(huán)控制回路。此閥島還可用于執(zhí)行診斷和遠(yuǎn)程維護(hù)功能。
氣控或電控 閥 VZXA、VZQA 和 VZWF (3)控制介質(zhì)流量。即使在閉環(huán)控制回路中,也能可靠、準(zhǔn)確地調(diào)節(jié)非常冷和/或熱的介質(zhì)。
角行程驅(qū)動(dòng)器 DFPD (4)驅(qū)動(dòng) 球閥 VZBF (5)以及通常用于冷卻或溫度控制介質(zhì)的主管線和進(jìn)/出管線的大流量翻板閥。
SFAW (2) 和 SPAW (6)型傳感器非常準(zhǔn)確地測(cè)量介質(zhì)流量以及溫度和壓力。